ロータリーベーン真空ポンプの動作原理
ロータリーベーン真空ポンプの動作原理は、回転翼を備えた前段および後段ローターが円筒形の前段および後段シリンダー内に偏心して設置されていることです。ローターが高速回転すると、ローター溝に設置され自由に移動できる回転翼は遠心力とバネ力によって外側に押し出され、その上部とシリンダーの内壁が互いに接近し、シリンダー上の流入と流出がそれらによって分離されます。
ローターの回転に伴って、入口に至る容積の一部が徐々に周期的に減少します。このようにして、空気または混合ガスは最初に高真空段の入口に吸入され、次に圧縮されて排気弁から排出されます。動作プロセスでは、排気圧力が排気弁を開くのに十分でない場合、圧縮されたガスは第 2 段に入り、さらに圧縮されて最終的に第 2 段排気弁から大気中に排出されます。これにより、2XZ シリーズ ロータリー ベーン真空ポンプの吸入ポートで真空が得られます。
排気バルブは、ガスの逆流を防ぐために一般的にオイルに浸されています。2XZ シリーズロータリーベーン真空ポンプのオイルはポンプ内を循環し、潤滑とシールの役割を果たします。
2XZシリーズロータリーベーン真空ポンプには、ガスバラストバルブも装備されており、その構造は一般的なガスチェックバルブに似ています。ポンプされたガスに少量の水蒸気が含まれている場合は、ガスバラストバルブを開いてポンプの排気キャビティに空気を注入します。これにより、排気キャビティの圧力が向上し、ポンプ内で水蒸気が凝縮して水にならないようになり、空気と一緒に排出されるため、油が凝縮水によって乳化されるのを防ぐことができます。これにより、潤滑油の耐用年数が延び、真空ポンプのポンプ性能が向上します。ガスバラストバルブを開いてポンプすると、潤滑剤が凝縮水によって乳化されるのを防ぐことができますが、真空ポンプの到達真空度が低下します。したがって、真空ポンプから水蒸気のない純粋な空気をポンプで排出するときは、ガスバラストバルブを閉じる必要があります。
