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高精度高限界真空ソレノイドバルブ真空計真空ポンプ

高精度、高到達真空、ゲージとバルブ付き真空ポンプは、高真空環境を作り出し、維持するために使用される装置です。このような真空ポンプには通常、高精度の制御システムと圧力ゲージが装備されており、真空状態をリアルタイムで監視および調整します。

高精度高限界真空ソレノイドバルブ真空計真空ポンプ

1.動作原理

高精度真空ポンプの動作メカニズムは、減圧設定内でのガス分子の動きに依存しています。機械式または電気式の推進システムを使用して、ポンプ内部に配置されたローターまたはピストンがポンプのチャンバーからガス粒子を抽出し、内部圧力を効果的に下げます。バルブ技術を組み込むことで、さまざまな動作シナリオにわたってガスの流れを柔軟に調整でき、システムの信頼性とセキュリティが保証されます。

2.応用分野

このタイプの真空ポンプは、次のような幅広い用途で使用されます。

  • 半導体製造: 半導体の製造では、汚染を防ぎ、材料の純度を確保するために、極めて高い真空環境が必要です。

  • 材料科学:特に薄膜堆積および表面処理における新材料の研究開発。

  • 真空包装: 食品や医薬品の包装では、真空ポンプを使用すると製品の保存期間が延長されます。

3.選定基準

ゲージとバルブを備えた高精度高到達真空ポンプを選択する際には、次の要素を考慮する必要があります。

  • 真空: ポンプの最大真空は、特定のアプリケーションの要件を満たす必要があります。

  • 流量: 必要な真空レベルに素早く到達できるように、ポンプのポンピング速度をシステムのニーズに合わせて調整する必要があります。

  • 制御精度: 高精度な制御システムにより、運用の柔軟性と安全性が向上します。

耐久性: ポンプの材質と設計は、長期間の高負荷運転に耐えられる必要があります。

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