新しい冷媒真空ポンプを選択する場合、極限部分圧と極限全圧は 2 つの重要なパラメータです。極限部分圧が 0.8 パ、極限全圧が 60 ミクロンの真空ポンプは、通常、高真空レベルを必要とする用途で使用されます。
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